谐振器论文

电子隧道效应在微机械振动陀螺仪中的应用

一、电子隧道效应在微机械振动陀螺中的应用（论文文献综述）樊波[1]（2020）在《MEMS类蛛网状盘式谐振陀螺结构设计研究》文中研究说明MEMS振动陀螺是基于科式效应和微机械加...