微机电系统论文

电子隧道效应在微机械振动陀螺仪中的应用

一、电子隧道效应在微机械振动陀螺中的应用（论文文献综述）樊波[1]（2020）在《MEMS类蛛网状盘式谐振陀螺结构设计研究》文中研究说明MEMS振动陀螺是基于科式效应和微机械加...
宝珠寺水电站微电液调速器运行状况分析

一、宝珠寺水电厂微机电液调速器运行状况分析（论文文献综述）王聪[1]（2013）在《水电厂监控系统IEC61850信息建模技术研究及应用》文中认为水电厂计算机监控技术经过30多...