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电子隧道效应在微机械振动陀螺仪中的应用
一、电子隧道效应在微机械振动陀螺中的应用(论文文献综述)樊波[1](2020)在《MEMS类蛛网状盘式谐振陀螺结构设计研究》文中研究说明MEMS振动陀螺是基于科式效应和微机械加...